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产品介绍

PM排气装置

ITEM名称
ATP-2001
产品说明

ATP-2001是特化于半导体产业现场的PM排气设备, 收集PM操作过程中产生
的各种有害气体、挥发性有机化合物(VOCs)、恶臭和烟气等,
排放到排气DUCT, 改善FAB内环境。

产品特征
  • - 附有WIPER保管箱, 可收纳 WIPER。
  • - 适用 PUSH DOOR的 WIPER回收用TRASH, 易于化学物质的废弃。
  • - 适用ARM LOCK装置, 排气时作业者可以安全地进行作业。
  • - 输入、输出端采用可根据USER要求变更的设计，可根据现场情况使用。
产品规格
Category Specification
Body Size480(W)x690(D)x700(H)
Weight118kg
Type排气
Exhaust Type酸排气/CV型
Exhaust SpecØ 100.120 / 45.50.58
Discharge pressure115mmAq
Maximum wind volume17.1 ㎥ / min
Current3A
Power consumption600W
HOOD SIZEØ 650
ARM SIZE1450/1950, Ø125
CertificateISO 9001, ISO 14001
ITEM名称
ATP-2005
产品说明

ATP-2005是轻量化产品, 女性劳动者也可以轻松使用。
此外，单独适用CV-ADAPTER，采用可USER可在现场自行更换使用的设计,
收集PM作业过程中产生的各种有害气体、挥发性有机化合物(VOCs)、
臭味和烟气等，排放到排气DUCT, 改善FAB内环境。

产品特征
  • - 单独适用CV-ADAPTER, 在现场USER可根据DUCT SIZE进行更换。
  • - 产品轻量化(100kg以下), 可轻松移动和操作。
  • - 吸入端和排出端材质采用聚氨酯材质, 适用可防静电和提高耐久性的风箱。
  • - 排出端风箱可以延长, 并可与有距离的排出系统连接使用。
产品规格
Category Specification
Body Size500(W)x600(D)x1000(H)
Weight97kg
Type排气
Exhaust Type酸排气/CV型
Exhaust SpecØ 100 / 45.50.58
Discharge pressure115mmAq
Maximum wind volume17.1 ㎥ / min
Current3A
Power consumption600W
HOOD SIZEØ 450
ARM SIZE1450, Ø125
CertificateISO 9001, ISO 14001
ITEM名称
ATP-3000
产品说明

ATP-3000为过滤型产品, 无需另外连接排气LINE即可使用,
在任何环境下均可使用。
此外, 清洁化、酸、碱、VOCs试验成绩等均经过各认证机构的试验,
可以安全地使用。

产品特征
  • - 可去除酸、碱、VOCs气体, 在工业现场和难以安装DUCT的实验室、
    研究设施中也可以安全地使用。
  • - 经清洁化、酸、碱、VOCs试验性认证, 其安全性值得信赖。
  • - ULPA Filter : 去除0.1㎛颗粒物的微尘99.99%, 使用UIPA Filter(KOLAS认证)
产品规格
Category Specification
Body Size530(W)x583(D)x1030(H)
Weight135kg
Type丙酮&乙醇过滤器
Exhaust Type过滤(自然排气)
Exhaust Spec自然排气
Discharge pressure452mmAq
Maximum wind volume10 ㎥ / min
Current5.14A
Power consumption950W
HOOD SIZEØ 450
ARM SIZE1450, Ø125
CertificateISO 9001, ISO 14001
ITEM名称
ATP-4001
产品说明

ATP-4001是狭小空间用产品, 是可在通道狭窄或移动到狭小的场所后进行PM作业的产品。
此外, 单独适用CV-ADAPTER, 采用USER可在现场自行更换使用的设计,
收集PM操作过程中产生的各种有害气体、挥发性有机化合物(VOCs)、
恶臭和烟气等, 排放到排气DUCT,
改善FAB内环境。

产品特征
  • - 在移动通道狭窄或狭小的空间进行PM作业时可以安装并使用的产品。
  • - 适用防静电处理聚氨酯风箱, 可延伸至75mm规格使用。
  • - 可以更换的方式适用CV-ADAPTER, 在现场USER可根据DUCT SIZE进行更换。
  • - 采用ARM 4段关节, 可以旋转、UP、DOWN、变化。
产品规格
Category Specification
Body Size250(W)x250(W)x1450(H)
Weight900(W)x900(W)x2760(H)
Type12kg
Exhaust Type排气
Exhaust SpecCV型
Discharge pressure45.50.58
Maximum wind volume聚氨酯, 75mm
Current1.0m/s以上, CV压力比例
Power consumption75mm
HOOD SIZEØ 450
ARM SIZE适用4段关节
CertificateISO 9001, ISO 14001
ITEM名称
ATP-5001
产品说明

ATP-5001为旋风式产品, 使用集尘筒, 可有效处理粉末。
此外, 集尘筒易于更换和废弃, 可提高PM作业和管道作业时的作业效率。

产品特征
  • - 适用旋风式, 可有效收集粉末。
  • - 适用集尘筒, 可不变形地使用, 因是更换方式, 所以使用便利。
  • - 适用透明窗, 可确认粉末装载量, 废弃时更加容易。
  • - 可适用专用硫酸过滤器, 可收集排气端气体和微细烟气(另售)。
产品规格
Category Specification
Body Size450(W)x450(D)x800(H)
Weight42.5kg
Type排气
Exhaust TypeCV型
Exhaust Spec45.50.58
Discharge pressure聚氨酯, 125mm
Maximum wind volume旋风式
CurrentØ38
Power consumption粉末捕集用
HOOD SIZE集尘筒更换方式
ARM SIZE适用4段关节
CertificateISO 9001, ISO 14001