直接进入正文 直接进入主菜单
产品介绍

Temp Controller

ITEM名称
General Controller
产品说明

特化于Fore-Line和Exhaust-Line, 进行温度控制的
Heating Jacket用监控Temp Controller

产品规格
Category Specification
Model ATC-212(312)
Body Size 263(403)(W)x360(D)x312(H)
Type 1ch ~ 3ch / 4ch ~ 6ch
Supply Φ1 , 208V , 50/60㎐
Full Load Current 48A
S.C.C.R 5KA
AIC of Protective device 5KA
Current 8A / ch 
Power consumption 5KW
Alarm LBA, HIGH1, HIGH2, HBA
Weight 8kg / 13kg
Certificate CE
特征
Item No. ATC-212(312)
  • - 50ms的超高速采样PID温度控制
  • - 支持RS485通信功能, 可监测温度和电流(Modbus RTU方式)
  • - 可进行ON/OFF控制、相位控制、周期控制
  • - 适用加热JACKET专用加热器断线警报
  • - 外部触点Interlock和Controller On/Off均可
ITEM名称
Multi Channel Controller
产品说明

特化于安装在需要精密控制的Gas Line上的Heating Jacket
并具有个别温度控制功能的Multi Channel Controller

产品规格
Category Specification
Model ATC-412
Body Size 550(W)x600(D)x1230(H)
Type 72ch
Supply Φ1 , 208V , 50/60㎐
Full Load Current 50A
S.C.C.R 10KA
AIC of Protective device 10KA
Current 0.7A / ch 
Power consumption 10KW
Alarm LBA, HIGH1
Weight 94kg
Certificate -
特征
Item No. ATC-412
  • - 50ms的超高速采样PID温度控制
  • - 支持RS485通信功能, 可监测温度和电流(Modbus RTU方式)
  • - 可进行ON/OFF控制、相位控制、周期控制
  • - 外部触点Interlock和Controller On/Off均可
  • - 个别调温器方式的直观Interface
ITEM名称
Pre-Heating Controller
产品说明

在将Wafer移送到设备Chamber的前一阶段
预热Wafer的Heating Jacket专用Temp Controller

产品规格
Category Specification
Model ATC-531
Body Size 603(W)x502(D)x213(H)
Type 6ch
Supply Φ3 , 208V , 50/60㎐
Full Load Current 50A
S.C.C.R 18KA
AIC of Protective device 18KA
Current 30A / ch
Power consumption 18KW
Alarm LBA, HIGH1, HIGH2, HIGH3
Weight 30kg
Certificate -
特征
Item No. ATC-531
  • - 50ms的超高速采样PID温度控制
  • - 支持RS485通信功能, 可监测温度和电流(Modbus RTU方式)
  • - 可进行电力控制、相位控制、 循环控制
  • - 高温切断 AL1: Heater#1~4温度高于设定温度时, #1~4加热器电源单独切断
  • - 高温切断AL2: Chamber温度高于设定温度时, #1~4加热器电源全部切断
  • - 高温切断AL3: Wafer温度高于设定温度时, #1~4号加热器电源全部切断
  • - 过电流切断AL4: Main加热器电流超过50A时, ELCB Trip
  • - 无进入电流, 机器稳定性高