Silicone Coated Cloth 원단을 적용한 제품으로 산업 현장에서
가장 많이 사용되는 제품군으로 반도체의 진공 라인, 가스 라인, 탱크 로리 등
광범위한 현장에 장착하여 각 공정의 흐름을 원활하게 하기 위하여 사용됩니다.
ATNH Series | ||
---|---|---|
Spec | Operating Temp | Standard Temp. 180 ℃ Max. Temp. 200℃ |
Voltage | 100V ~ 220V * 50/60Hz | |
Materials | Outer Cloth | Silicon Coating E-glass Cloth |
Inner Cloth | Silicon Coating E-glass Cloth | |
Insulator | Silica needle mat | |
Element | Ni-Cr | |
Sensor | K-Type, PT100Ω | |
Fastener | Velcro , Snap Button | |
Applications | Process | Etch, Diffusion, CVD, Metal, Clean |
Section of use | Fore Line, Exhaust Line, Inside the facility(Pump, Scrubber, etc.) |
PTFE Coated Cloth 원단을 적용한 제품으로 고온 또는
Particle 관리가 필요한 현장에서 주로 사용되는 제품군으로
주요 반도체 현장의 클린 룸, 설비 등 주요 장비의 내부에 장착하여
각 공정의 흐름을 원활하게 하기 위하여 사용됩니다.
Item No. ATPH Series | ||
---|---|---|
Spec | Operating Temp | Standard Temp. 260 ℃ Max. Temp. 300℃ |
Voltage | 100V ~ 220V * 50/60Hz | |
Materials | Outer Cloth | Teflon Coating Eglass Cloth |
Inner Cloth | Teflon Coating Eglass(or Silica) Cloth | |
Insulator | Silica needle mat | |
Element | Ni-Cr | |
Sensor | K-Type, PT100Ω | |
Fastener | Velcro , Snap Button | |
Applications | Process | Etch, Diffusion, CVD, Metal, Clean |
Section of use | Fore Line, Exhaust Line, Inside the facility(Pump, Scrubber, etc.) |
100% PTFE Sheet 원단을 적용한 제품으로 내구성 및 Particle 관리에
탁월한 성능을 발휘합니다.
반도체 클린룸 환경에 환경 안정성에 최적화되어 있는 제품으로
반도체 및 주요 산업 현장의 클린 룸, 설비 등 주요 장비의 내부에 장착하여
각 공정의 흐름을 원할하게 하기 위하여 사용됩니다.
Item No. ATPSH Series | ||
---|---|---|
Spec | Operating Temp | Standard Temp. 260 ℃ Max. Temp. 300℃ |
Voltage | 100V ~ 220V * 50/60Hz | |
Materials | Outer Cloth | 100% PTFE Sheet |
Inner Cloth | 100% PTFE Sheet | |
Insulator | Silica needle mat | |
Element | Ni-Cr | |
Sensor | K-Type, PT100Ω | |
Fastener | Velcro , Snap Button | |
Applications | Process | Etch, Diffusion, CVD, Metal, Clean |
Section of use | Fore Line, Exhaust Line, Inside the facility(Pump, Scrubber, etc.) |